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全部分类
Blanker-9A
Blanker
Blanker-9B
Blanker-4
Blanker-2
PCM-med

电子束闸

英国Deben出品的PCD型束闸是设计用来为JEOL和Hitachi的FEG场发射、LaB6六硼化镧和钨灯丝扫描电镜提供电子束的消隐(阻断、开关)、脉冲或其他调制能力。该束闸安装在电镜镜筒侧面的PCD端口(与最终孔径光阑相对)上,可在高达30千伏的电镜加速电压下工作,开关时间约为50纳秒。还具有一个集成的法拉第杯和探针电流探测器(PCD),用于指示探针电流。如果需要更精确的束流读数,则可用所提供的BNC连接器连接到可选的探针电流表。
产品型号:
PCD electrostatic Beam Blanker
Blanker-9A
Blanker
Blanker-9B
Blanker-4
Blanker-2
PCM-med
产品描述

英国 DEBEN电子束束闸

许多扫描电镜都具有内置的束闸,通过使用镜筒扫描线圈来阻断电子束。虽然该方法适用于某些应用,但电子束阻断速度通常较慢,仅为几毫秒量级;如果需要更快的消隐阻断速度,则应安装单独的高速静电场型束闸。

英国 Deben 出品的 PCD 型束闸是设计用来为 JEOL Hitachi FEG 场发射、 LaB6 六硼化镧和钨灯丝扫描电镜提供电子束的消隐(阻断、开关)、脉冲或其他调制能力。该束闸安装在电镜镜筒侧面的 PCD 端口(与最终孔径光阑相对)上,可在高达 30 千伏的电镜加速电压下工作,开关时间约为 50 纳秒。还具有一个集成的法拉第杯和探针电流探测器( PCD ),用于指示探针电流。如果需要更精确的束流读数,则可用所提供的 BNC 连接器连接到可选的探针电流表(见本页末“五档束流表”)。

偏转板机构可置入镜筒的中轴线处,在不需要时也可完全抽出。束闸极板由钴金镀层的磷青铜制成,以确保插入极板时不影响扫描电镜的正常工作。极板的长度和间距已被优选以确保在 1kV 30kV 的加速电压范围内都能获得高电子束阻断效率。

整套束闸系统包括一个 PCD 端口适配器,并带有可伸缩的束闸极板组件和集成的脉冲驱动器。含一个远程脉冲驱动输入和一个小型桌面控制器。可选的 RS-232 接口允许直接从计算机控制的电子显微镜或自动电子束光刻系统控制束闸系统。

Deben 电子束束闸可用于阻断 SEM 电子束(打开和关闭电子束),此功能主要用于电子束曝光刻写系统,也用于 EDX CL EBIC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

仪器特点

  • 集成的法拉第杯,方便检测束流
  • 开关响应快,时间短
  • 电动插入式极板
  • 5V TTL 电平控制输入
  • 可选的 RS-232 远程控制
  • 兼容电镜加速电压最高 30   kV
  • 适配于大部分 JEOL Hitachi 电镜

 

推荐 应用

  • 电子束曝光( EBL
  • 阴极发光( CL
  • EBIC 成像 / 电压衬度成像
  • EDX
  • 扫描电声显微镜

 

 

 

 

 

 

可选的五档束流表: n

  • 自动校零
  • 25°C 时最大误差 5pA
  • 过载:超过 100μA
  • 功率:电池 4 x AA 碱性电池,通常工作 10000 小时( 1.2 年)
  • 尺寸: 130mm (宽) x 70mm (高) x 115mm (深)

 

注:英国 DEBEN PCD 型束闸通常与美国 NPGS 纳米图形发生器 EBIC 等设备配套使用。

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