
Q150R ES Plus离子溅射/热蒸发一体化镀膜系统
Q150R Plus 系列镀膜仪
Q150R Plus 系列镀膜仪是一款多功能紧凑型机械泵抽真空镀膜系统,对于 SEM 样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为 165mm/6.5 ”的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品–尤其用于在 SEM 应用中提高成像质量。适用于钨灯丝 /LaB6/ 部分场发射和台式 SEM 之样品制备,通过 Q150R E & ES Plus 碳绳镀膜可用于元素分析。
仪器特点:
• 电容式触摸屏,灵敏度高,更易触控使用
• 用户界面软件全面更新,使用现代智能技术界面
• 全面的文字帮助页面
• USB 接口可轻松进行软件更新和数据备份
• log 文件格式为 .csv ,内含日期、时间和工作参数,可导出至 Excel 或类似软件中分析
• 16GB 的闪存可储存超过 1000 条镀膜方案
• 双核 ARM 处理器,可实现快速响应的显示
• 可互换的插入头;可拆卸腔室,设有防爆罩;多种样品台可选
• 全自动可控脉冲式碳绳蒸镀;磁控冷溅射
• 大而多色的 LED 指示灯,实现可视化状态指示;程序完成后具有音频声音提示
Q150R Plus 具有三种型号:
1 ) Q150R S Plus 全自动溅射镀膜仪,可溅射不氧化金属。可溅射的靶材包括金、金 / 钯合金和铂等。
2 ) Q150R E Plus 全自动碳绳蒸镀仪,适合 SEM 领域的 EDS 和 WDS 应用。
3 ) Q150R ES Plus 集成了离子溅射和碳蒸镀两种方式的镀膜系统。镀膜头可在数秒内更换。
推荐应用:
• 扫描电镜中低倍放大倍数观察
• 增强二次电子信号( 1nm 或更小)
• 台式 SEM 镀膜
• 元素分析( EDS )
• 敷铜层
Q150R Plus 是英国 Quorum 出品的国际认可的 Q 系列镀膜仪的一部分,全球数千家客户使用此类镀膜仪。 Q 系列旨在为 SEM 、 TEM 和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案, Q 系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品专供科研用途。
对于 SEM 应用的经济型喷金喷碳仪,请参见 SC7620 。对于 FE-SEM 应用所需的超细颗粒镀膜,建议采用高真空镀膜仪,请参见 Q150T Plus 、 Q150V Plus 或 Q150GB ,如需大腔室版本的镀膜系统,请参见: Q300T T Plus 、 Q300T D Plus 、 Q300T ES Plus 和 K975X / K975S 。
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