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Q300T T Plus三靶大腔室全自动溅射镀膜仪
全部分类
Q300T T plus_front
Q300T T sputtering heads and shutter square smaller
microscope_slide_stage
rotary_planetary_specimen_stage

Q300T T Plus三靶大腔室全自动溅射镀膜仪

产品型号:
Q300T T Plus
Q300T T plus_front
Q300T T sputtering heads and shutter square smaller
microscope_slide_stage
rotary_planetary_specimen_stage
产品描述

Q300T T Plus 三靶大腔室全自动溅射镀膜仪

Q300T T Plus 用于 200 mm 直径( 8 英寸)以下的大样品或多个小样品,是一个大腔室涡轮泵溅射镀膜系统,适合薄膜研究和普通扫描电镜 / 场发射扫描电镜样品制备应用。它配有三个独立的溅射头,以确保单个大样品或多个小样品的均匀沉积。对于小样品的经济的镀膜,可选择“单靶”模式。 Q300T T Plus 被设计成溅射一系列氧化和非氧化(贵金属)的金属靶材,标配三块 57 mm 直径 x 0.3 mm 厚度的相同的铬( Cr )靶。请注意:不能用 Q300T T Plus 将每个溅射头配置三种不同的溅射金属去实现三层连续镀膜!

有关连续镀制两层不同材料的膜层,请参阅 Q300T D Plus 。其它大腔室镀膜仪,请参阅 K975X/K975S 以及 Q300T ES Plus

仪器特点:

•   极限真空 5 x 10 -5 mbar 或更优

•   电容式触摸屏,灵敏度高,更易触控使用;用户界面软件全面更新,使用现代智能手机技术界面

•   全面的文字帮助页面

•   USB 接口可轻松进行软件更新,也可将配方文件备份 / 复制到 USB 存贮器

•   log 文件格式为 .csv ,内含日期、时间和工作参数,可导出至 Excel 或类似软件中分析

•   允许多用户输入和储存镀膜方案,并可根据近期的使用情况来排列每个用户的配方

•   16GB 内存,双核 ARM 处理器,可实现快速响应的显示;带触摸屏按钮的全图形界面,包括近期使用的 1000 个镀膜日志等功能

•   带内爆防护罩的可拆卸玻璃腔室,可选高腔室

•   多种样品台可选

•   三个相同靶材的大面积溅射头;磁控冷溅射;脉冲清洁用于溅射 Al (铝)

•   可选的膜厚监控附件( FTM

•   大而多色的 LED 指示灯,实现可视化状态指示;程序完成后具有音频声音提示

推荐应用:

•   理想的大面积溅射镀膜应用

•   晶圆检验

•   选用“单靶”模式,实现经济的镀膜应用

•   可溅射各种易氧化和非易氧化金属,用于薄膜及扫描电镜多样品制备

Q300T T Plus 是英国 Quorum 出品的国际认可的 Q 系列镀膜仪的一部分,全球数千家客户使用此类镀膜仪。 Q 系列旨在为 SEM TEM 和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案, Q 系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品专供科研用途。

Q Plus 系列镀膜仪也有较小腔室的版本,请参阅: Q150R Plus Q150T Plus 以及 Q150V Plus SC7620 Q150GB 也是可选的型号。

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