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K975S高真空热蒸发镀膜仪
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K775X
k775x IMG_5430A
K775X SAMPLE CHANGE
K775X Specimen holder - accommodates 10 mm SEM stubs and TEM grids
K775X TOOL

K975S高真空热蒸发镀膜仪

产品型号:
K975S
K775X
k775x IMG_5430A
K775X SAMPLE CHANGE
K775X Specimen holder - accommodates 10 mm SEM stubs and TEM grids
K775X TOOL
产品描述

K975X/K975S 高真空热蒸发镀膜仪

K975X 涡轮泵高真空蒸镀仪是一个多用途镀膜系统,它具有灵活性和模块化扩展功能,以适应不同的样品制备。 K975X 可实现一系列制样技术,包括 TEM 的碳支持膜及覆形膜,碳 / 金属蒸镀、低角度投影 ( 可选 ) 和通过使用双源蒸发 ( 可选 ) 进行顺序镀层,溅射镀膜附件 ( 可选 ) 能适用于多种靶材。独特的抽屉式样品装载系统使得用户可方便地放入各种样品,铰链式顶盖结构也很容易到达工作腔室内的各个区域。

K975S 基于 K975X ,但它具有特殊的和更大的样品装载门,可允许放入 8 英寸( 200mm )晶圆或类似大样品镀碳。碳棒蒸发源直接安装在真空腔室顶盖板上,便于碳枪操作,并为大直径样品提供所需的蒸发源至样品的理想距离。与 K975X 不同, K975S 没有安装金属蒸发源以及相应的底板安装立柱。

仪器特点:

•   全自动抽真空系统

•   样品尺寸可达 140 毫米见方或 200 毫米直径

•   独特设计的“ anti-stick ”碳棒蒸发枪

•   抽屉式样品装载系统

•   可选的蒸镀类型,具有四种蒸发设置

•   有节制的破真空排气控制

•   可选溅射附件

•   可选膜厚监测附件( FTM

推荐应用:

•   碳棒 / 碳绳蒸发

•   金属蒸发

•   扫描电镜光阑清洁(钼舟)

   TEM 用碳支撑膜和覆形膜

•   低角度阴影

•   采用双源蒸发的连续镀层

   EDX WDS EBSD 分析

•   可选的磁控溅射应用

对于 SEM 应用的机械泵抽真空的喷金喷碳仪,请参见 SC7620 Q150R Plus 。对于 FE-SEM 应用所需的超细颗粒镀膜,建议采用高真空镀膜仪,请参见 Q150T Plus Q150V Plus Q150GB ;如需大腔室版本的镀膜系统,请参见: Q300T T Plus Q300T D Plus Q300T ES Plus K975X / K975S 。这些产品专供科研用途。

 

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